Знание

Home/Знание/Детали

Как выбрать освещение для полупроводниковой литографии

Как выбрать технологическое освещение для полупроводниковой литографии (желтая светодиодная трубка T8 с защитой от ультрафиолетового излучения)

1. Требования к яркости

В процессе полупроводниковой литографии источник освещения обеспечивает качество изображения чипа, поэтому требования к яркости очень важны. Вообще говоря, требования к яркости для экспонирования фотолитографии составляют 100-150мВт/см². Если яркость слишком низкая, это приведет к недодержке и повлияет на четкость и точность изображения чипа.

2. Требования единообразия

Помимо требований к яркости, важным фактором также является равномерность освещения. В процессе фотолитографии однородность означает разницу в распределении яркости по всему проектору. Вообще говоря, требование однородности составляет от 1% до 3%. Если однородность недостаточна, это может привести к неравномерной экспозиции чипа, что повлияет на четкость и точность изображения.

3. Требования к цветовой температуре

Цветовая температура освещения относится к цвету света освещения. В процессе полупроводниковой литографии выбор цветовой температуры также очень важен. Вообще говоря, требуемая цветовая температура составляет от 3500К-5000К. Если цветовая температура слишком низкая или слишком высокая, четкость изображения и точность чипа могут снизиться.

Короче говоря, требования к освещению в процессе полупроводниковой литографии очень важны, и необходимо соблюдать определенные требования с точки зрения яркости, однородности, цветовой температуры и т. д. Только обеспечив качество освещения, мы можем лучше обеспечить качество и точность чипов. визуализация.

Конкретные подробные параметры:

1.100% подавление ультрафиолетовых лучей (длина волны фильтра <500 нм).

2. Технология производства материалов в Германии.

3. PC сырье огнестойкий рейтинг V2.

4. Светодиодный чип Epistar 100-120лм/Вт, 1500K -2000K

5. Встроенный изолированный силовой рубиконовый конденсатор.

6. Доступны желтые прозрачные и морозные покрытия.

 

https://www.benweilight.com/lighting-tube-bulb/special-t8-led-tube/

https://www.benweilight.com/lighting-tube-bulb/special-t8-led-tube/совместимый-t8-led-tube-light.html