Что такое фотолитография?
Фотолитография — один из важных процессов в производстве интегральных схем (ИС или чипов). Проще говоря, это процесс копирования рисунка схемы на подложку с помощью фотомаски и фоторезиста.
Подложка будет окрашена на изолирующий слой диоксида кремния и фоторезист. Фоторезист можно легко растворить с помощью проявителя после воздействия УФ-излучения, после растворителя и травления рисунок схемы останется на подложке.
Что такое фоторезист? Почему длина волны УФ-излучения 500 нм должна блокировать?
Фоторезист сочетается со смолами, растворителями и добавками. Диапазон светочувствительности фоторезиста составляет 200нм-500нм. Поэтому многие лаборатории полупроводников используют желтый свет, который блокирует длину волны ультрафиолета 500 нм, чтобы предотвратить переэкспонирование или преждевременное экспонирование фоторезиста.
